化工廢氣處理工藝流程是指通過物理、化學、生物等工藝處理，改變廢氣的性質，從而達到減少污染物含量，滿足環(huán)保要求的過程?；U氣處理工藝流程包括物理處理、生物處理、綜合處理等。

1、物理處理：物理處理是指通過改變污染物的狀態(tài)，如溫度、壓力、電場等，從而降低污染物的濃度。常見的物理處理方法有凝結、冷凝、吸附、過濾、蒸發(fā)、凈化塔等。

2、化學處理：化學處理是指通過使用化學反應來轉化污染物，從而降低污染物的濃度。常見的化學處理方法有氧化、減氮、堿式熱處理、催化氧化等。

3、生物處理：生物處理是指利用微生物的吸著、分解、轉化等特性，將污染物轉化為無害物質，從而達到減少污染物含量的一種方法。常見的生物處理方法有生物膜法、生物吸附法、生物反應器法等。

4、綜合處理：綜合處理是指將物理處理、生物處理等多種處理方法綜合起來，同時使用，從而獲得更好的處理效果。

5、污染物排放標準：污染物排放標準是指對污染物排放的合法性的標準，是政府和企業(yè)在管理廢氣處理過程中必須遵守的規(guī)定。

綜上所述，化工廢氣處理工藝流程是一個復雜的系統(tǒng)工程，需要從物理處理、生物處理和綜合處理等多方面進行考慮，并嚴格按照污染物排放標準進行控制，以達到減少污染物含量，保護環(huán)境的目的。